大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题

• 作者: 刘志祥 吕保斌 蒋亚东 邢廷文
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 波像差测量 剪切干涉仪 大数值孔径(NA)物镜 光刻物镜
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 482-490
• 页数: 9页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162403.0482

摘要

设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径(NA)物镜的波像差.研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题.首先,根据棋盘光栅的远场衍射函数分析了棋盘光栅的衍射效率和衍射级分布,给出了剪切干涉图数据的处理方法.接着,根据球面光瞳坐标与平面探测器坐标的投影关系,分析了光瞳坐标畸变的影响;采用几何光线追迹方法,分析了光栅方程非线性对系统误差的影响.最后,推导了物镜光瞳边缘的相对照度与数值孔径的关系.试验结果表明:采用相同光瞳坐标,NA为0.6的显微物镜的波像差测量重复性(3σ)可达到3.7 mλ.对大数值孔径物镜测量过程中涉及的特殊问题进行了探讨,结果提示:测量大数值孔径物镜的波像差时,需要考虑光瞳坐标畸变、光栅方程引入的系统误差、光瞳边缘照度衰减的影响等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东		318	2024	18.0	25.0
2	邢廷文	中国科学院光电技术研究所	67	501	11.0	17.0
3	刘志祥	中国科学院光电技术研究所	10	79	5.0	8.0
9	吕保斌	中国科学院光电技术研究所	4	19	2.0	4.0