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硅V型槽表面形貌的OCT可视化测量
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摘要：
介绍了一种硅V型槽表面形貌测量的可视化方法,分析了谱域OCT的测量原理.利用谱域OCT实验测量系统进行了硅V型槽的成像实验,得到了硅V型槽的二维层析图像;通过分析二维层析图像,获取了硅V型槽的结构尺寸,实现了硅V型槽表面形貌的高精度可视化测量.
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期刊影响力
光学技术
主办单位：
北京兵工学会
北京理工大学
中国北方光电工业总公司
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-1582
CN：
11-1879/O4
开本：
大16开
出版地：
北京市海淀区中关村南大街5号
邮发代号：
2-830
创刊时间：
1975
语种：
chi
出版文献量（篇）
4591
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6
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