微波技术在多晶硅制备过程中应用研究

• 作者: 亢若谷 彭金辉 苏杰 蔺琎 郭胜惠
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波技术 多晶硅 制备 反应器
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TM924.76
• 字数: 4561字
• 语种: 中文

摘要

多晶硅的制备过程是光伏产业链的重要组成部分,本文在概述微波与材料相互作用机理基础上,以硅材料中多晶硅制备过程为例,提出多晶硅生产中现有方法存在的问题,并对微波技术在多晶硅制备中的应用,以及微波反应器研究进展进行了阐述,最后展望了微波技术在多晶硅制备过程的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭金辉	昆明理工大学非常规冶金教育部重点实验室	259	2979	28.0	35.0
2	郭胜惠	昆明理工大学非常规冶金教育部重点实验室	86	1226	21.0	29.0
3	苏杰		5	17	2.0	4.0
4	亢若谷		13	75	6.0	8.0
5	蔺琎	昆明理工大学非常规冶金教育部重点实验室	11	12	2.0	2.0