航天相机非球面光学元件的离子束抛光工艺研究

• 作者: 孟晓辉 李文卿 王永刚
• 来源期刊: 航天制造技术
• 关键词: 光学加工 凸非球面 离子束抛光 面形精度
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 制造技术研究
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 字数: 2429字
• 语种: 中文

摘要

介绍了某型号航天相机中一块φ305mm大相对孔径(F#1.3)二次凸非球面反射镜的离子束抛光工艺方法.通过去除函数长时间稳定性分析实验,确认了RF60和RF40两种规格的离子源工艺参数,其所产生的去除函数的PV峰值去除率稳定性分别为3.71％和4.5％.对低入口面形精度的凸非球面反射镜,经过三轮离子束抛光,其面形精度从初始的PV=1.302λ、RMS=0.201λ提高至PV=0.157λ、RMS=0.013λ,满足了型号设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟晓辉		7	19	3.0	4.0
2	王永刚		9	26	3.0	5.0
3	李文卿		4	15	2.0	3.0