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晶圆制造厂改扩建中的二次配管
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摘要：
介绍了晶圆制造厂改扩建中二次配管的施工方法,通过与施工过程中各相关人员的协调,在保证安全情况下使二次配管的施工做到质量达标、进度合理,同时有效地降低了工程费用.
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期刊影响力
洁净与空调技术
主办单位：
中国电子工程设计院
中国电子学会洁净技术分会
出版周期：
季刊
ISSN：
1005-3298
CN：
11-3395/TM
开本：
16开
出版地：
北京海淀区万寿路27号
邮发代号：
82-577
创刊时间：
1994
语种：
chi
出版文献量（篇）
1908
总下载数（次）
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总被引数（次）
6339
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