掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究

• 作者: 孟炎 廖庆佳 熊定康 聂鹏 邓文 陈真英 黄文华
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 掺钛氧化锌薄膜 磁控溅射 保温时间 微结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 1077-1081
• 页数: 5页
• 分类号: TB34
• 字数: 3132字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.01.016

摘要

采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO(掺钛氧化锌)薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO薄膜所需靶材的最佳条件.测试结果表明,所有样品均为具有c轴择优取向的六角铅锌矿多晶纳米薄膜;靶材烧结温度和保温时间对薄膜微结构和光电性能有较大影响;以经1 500℃烧结并保温6h的靶材所制备的薄膜光电性能较好,具有较大晶粒尺寸,在可见光区(400～760 nm)有较高的平均透过率91.16％,较低电阻率1.07×10-4Ω·cm,较高的载流子浓度和较大迁移率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓文	广西大学物理科学与工程技术学院	56	247	8.0	13.0
2	陈真英	广西大学物理科学与工程技术学院	21	79	5.0	7.0
6	黄文华	广西大学物理科学与工程技术学院	5	8	2.0	2.0
7	熊定康	广西大学物理科学与工程技术学院	4	8	2.0	2.0
8	聂鹏	广西大学物理科学与工程技术学院	4	10	2.0	3.0
9	廖庆佳	广西大学物理科学与工程技术学院	1	3	1.0	1.0
10	孟炎	广西大学物理科学与工程技术学院	1	3	1.0	1.0