贫铀表面Ar气脉冲辉光放电清洗

• 作者: 刘清和 王庆富 肖红 陈林 龙重
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 贫铀 辉光放电清洗 脉冲电压 界面
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 33-36
• 分类号: TB43|TL93+3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.02.09

摘要

贫铀极易氧化,为了提高其表面薄膜的结合性能,薄膜沉积前铀表面的辉光放电清洗是极为重要的.利用计算机模拟对Ar气脉冲辉光放电等离子体特性进行了研究,采用俄歇电子能谱仪(AES)对辉光放电清洗后铀表面化学元素进行了分析,同时对铀表面铝薄膜界面元素分布进行了深度剖析.结果表明:氩分压和脉冲电压是影响辉光放电等离子体特性的关键因素;脉冲电压和氩分压越高,辉光放电等离子体中Ar+密度越大;脉冲电压辉光放电清洗效果优于直流电压;在2.0Pa氩分压、-900V脉冲电压下,等离子体Ar+密度高达1.29 × 1014/m3,采用该参数对铀表面进行清洗可以获得洁净的表面,并有利于薄膜原子向铀基体内部迁移,促使膜基界面“伪扩散层”的增宽,从而增强铀表面薄膜的结合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林	中国工程物理研究院材料研究所	55	229	8.0	13.0
2	刘清和	中国工程物理研究院材料研究所	11	87	6.0	9.0
3	王庆富	中国工程物理研究院材料研究所	27	143	8.0	10.0
4	肖红	中国工程物理研究院材料研究所	26	59	5.0	6.0
5	龙重	中国工程物理研究院材料研究所	4	1	1.0	1.0