液晶基板玻璃厚度的测量方法

• 作者: 周波 李赫然
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 液晶基板玻璃 测厚 接触式 非接触式 位移传感器 激光三角法 干涉法
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 45-50
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171.6
• 字数: 3304字
• 语种: 中文

摘要

厚度是液晶基板玻璃生产过程中一项重要的品质指标.随着液晶基板玻璃尺寸越来越大,生产节拍要求越来越短,传统的手动式测量已不能满足生产需求.本文总结了作者实际研发的使用接触式或非接触式传感器的在线自动测厚仪的设计使用经验,说明了激光三角法和干涉法非接触式测厚的原理,电涡流/光栅尺式接触式测厚的原理,并根据实际使用情况,分析了各种方式面临的主要问题以及各自的优缺点,并提出了各种方式的使用领域.作者研发的多台在线自动测厚仪均已成功应用到本公司现有生产线中,效果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周波		14	24	3.0	4.0
5	李赫然	北京大学光华管理学院	12	17	3.0	3.0