表面处理对Au-CdZnTe电极接触性能的影响

• 作者: 周昌鹤 孙士文 张大众 徐超 朱丽慧 虞慧娴
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碲锌镉 表面处理 机械化学抛光 欧姆接触
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 571-576
• 页数: 6页
• 分类号: TG175
• 字数: 2866字
• 语种: 中文

摘要

碲锌镉(CdZnTe)是制备X射线、(y)射线探测器的一种理想半导体材料.CdZnTe欧姆接触电极是制备CdZnTe核辐射探测器的关键技术之一.表面加工状态是影响欧姆接触性能的重要因素,文中研究了4种表面处理工艺对Au-CdZnTe电极接触性能的影响.研究发现对晶片表面进行溴甲醇腐蚀处理和机械化学抛光均有助于提升Au-CdZnTe电极欧姆接触性能.对晶片进行机械化学抛光后再进行溴甲醇腐蚀处理,使用这种晶片所制备的电极具有更加优良的综合电学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱丽慧	上海大学材料学院	92	879	18.0	25.0
2	徐超	中国科学院红外成像材料与器件重点实验室	49	243	9.0	13.0
3	孙士文	中国科学院红外成像材料与器件重点实验室	16	28	3.0	4.0
4	虞慧娴	中国科学院红外成像材料与器件重点实验室	7	9	2.0	2.0
5	周昌鹤	中国科学院红外成像材料与器件重点实验室	5	9	2.0	2.0
6	张大众	上海大学材料学院	1	1	1.0	1.0