清洗工艺对金属辅助刻蚀制备黑硅及其光伏器件的影响

• 作者: 吴兢 孔凡建 沈鸿烈 罗旌旺 芮春保 蒲天
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 黑硅 清洗工艺 少子寿命 太阳电池
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 371-375
• 页数: 5页
• 分类号: TM910|TQ131.11
• 字数: 1644字
• 语种: 中文

摘要

为了减少黑硅表面缺陷对黑硅太阳电池性能的影响,本文以金属纳米颗粒辅助刻蚀制备的156 mm× 156 mm多晶黑硅为研究对象,分别采用传统RCA清洗工艺中SCl清洗方法及其改进方法清洗黑硅,并通过SEM、少子寿命、IV、QE等手段表征黑硅微观结构及其光伏器件电性能.结果表明:改进清洗方法比SCI具有更好的清洗效果,能够有效去除黑硅中的金属残留,同时修正黑硅表面微结构,黑硅的少子寿命由1.98 μs提高到3.09 μs.对于156 mm× 156 mm多晶黑硅太阳电池,改进方法清洗的黑硅电池比SCl方法清洗黑硅太阳电池短路电流提升62mA,平均转化效率提升了0.16％,达18.01％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈鸿烈	南京航空航天大学材料科学与技术学院	93	264	9.0	10.0
2	孔凡建	江苏辉伦太阳能科技有限公司新能源研究中心	8	29	3.0	5.0
3	芮春保	江苏辉伦太阳能科技有限公司新能源研究中心	4	10	2.0	3.0
4	罗旌旺	江苏辉伦太阳能科技有限公司新能源研究中心	2	3	1.0	1.0
5	蒲天	江苏辉伦太阳能科技有限公司新能源研究中心	1	1	1.0	1.0
9	吴兢	江苏辉伦太阳能科技有限公司新能源研究中心	2	1	1.0	1.0