一种防倾斜MEMS平行板静电执行器

• 作者: 于军胜 汪为民 王强 邱传凯
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 执行器 静电 平行板 行程 防倾斜
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 161-165
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.03.005

摘要

首先简短地叙述了双端固支平行板静电执行器存在的倾斜问题,该问题会降低其可靠性并且减少其行程,从而限制它的应用范围.为了克服这个问题和提升该类执行器的性能,提出了一种新型的防倾斜MEMS平行板静电执行器结构,在实现防倾斜作用的同时获得了较大的行程.设计时对上极板的对称S型梁结构和分离的下电极结构进行了理论计算和仿真分析.基于商业表面微细加工工艺PolyMUMPs加工了样品并利用白光干涉仪进行了实验测试.该执行器可得到1.92 μm的行程且不会发生倾斜,特别适合应用于微变形镜器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	267	5471	42.0	69.0
3	于军胜	电子科技大学光电信息学院	72	436	10.0	15.0
6	邱传凯	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	23	186	9.0	12.0
7	汪为民	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	16	32	3.0	4.0