离子色谱法测定蚀刻槽废氢氟酸中的六氟硅酸

• 作者: 曹琳 罗全迁 霍世欣
• 来源期刊: 色谱
• 学科: 化学
• 关键词: 离子色谱 紫外检测器 电导检测器 六氟硅酸
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 特别策划:离子态化合物色谱分析专栏
• 页码范围: 982-985
• 页数: 4页
• 分类号: O658
• 字数: 2945字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1123.2016.05021

摘要

建立了一种新的检测蚀刻槽废氢氟酸中六氟硅酸的离子色谱方法.色谱柱为Metrosep A Supp 7阴离子交换柱,流动相为3.2 mmol/L碳酸钠-1.0 mmol/L碳酸氢钠,流速为0.7 mL/min.六氟硅酸经过抑制型电导检测器后进行衍生化反应,在360 nm波长下用紫外检测器检测.六氟硅酸的线性范围为2.4～ 120 mg/L,相关系数r2大于0.999,定量限为0.24 mg/L,平均加标回收率为97.2％.本方法还可以同时利用电导检测器检测废氢氟酸中的氢氟酸、醋酸、盐酸、硝酸、磷酸和硫酸的含量.该方法快速、准确,适用于蚀刻槽液中六氟硅酸的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	霍世欣		5	6	2.0	2.0
2	罗全迁		1	2	1.0	1.0
3	曹琳		1	2	1.0	1.0