Co掺杂ZnO纳米结构的合成及其气敏特性

• 作者: 刘建霞 王文达 高翻琴
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 水热法 Co掺杂ZnO 甲烷气体 传感器 气敏特性 灵敏度
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 188-194
• 分类号: TB383|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.03.009

摘要

采用水热法合成了不同质量分数Co掺杂ZnO纳米结构,利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对其表面形貌、元素种类和物相结构进行了分析和表征.制备出了基于不同量Co掺杂的ZnO气体传感器,并研究了Co掺杂ZnO气体传感器对甲烷的气敏特性.实验结果表明,在最佳工作温度(140℃)下,质量分数2％ Co掺杂ZnO气体传感器对体积分数为10-4甲烷气体的最高灵敏度可达3.55,最低检测极限为5×10-8,并且响应时间和恢复时间分别为19和27 s.这表明Co掺杂ZnO气体传感器在实现对低浓度甲烷气敏检测方面具有较好的潜在应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建霞	太原理工大学信息工程学院	43	266	9.0	15.0
2	高翻琴	太原理工大学信息工程学院	5	5	1.0	2.0
3	王文达	太原理工大学信息工程学院	5	7	2.0	2.0