纳米颗粒的粒径测量方法

• 作者: 刘俊杰 范燕 许潇 邢化朝 马一博 魏伟胜
• 来源期刊: 中国粉体技术
• 关键词: 扫描电子显微镜 放大倍率校准 质心法 颗粒粒径
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 颗粒测试与表征
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TB99
• 语种: 中文
• DOI: 10.13732/j.issn.1008-5548.2016.05.012

摘要

为了实现扫描电子显微镜(SEM)对纳米颗粒粒径的准确测量,研究了一种SEM放大倍数校准和光栅间距测量的方法;在SEM的不同放大倍数下对光栅纳米结构样板成像,运用MATLAB软件对显微镜图像进行灰度处理并读取灰度图像的亮度值数据,通过确定顶线、基线、底线位置,有效消除成像质量及数据处理等的误差,准确确定质心横坐标,采用质心算法求取平均光栅间距,通过与光栅间距标称值比较计算校准系数和校准误差;为验证放大倍率校准结果的可靠性,对纳米颗粒粒度标准物质进行测量.实际测量的平均粒径与标准值一致,表明该校准方法准确可靠,可有效避免图像质量和人为因素对测量结果的影响,达到对纳米和亚微米颗粒粒径准确测量的目的.