基于金属背支撑刻蚀技术的柔性AlGaInP/AlGaAs/GaAs三结太阳电池研制

• 作者: 卢建娅 张玮 杨文献 谭明 陆书龙 黄健
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaInP/AlGaAs/GaAs 太阳电池 柔性薄膜 湿法腐蚀 重量比功率
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 688-693
• 分类号: TN36
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2016.05.019

摘要

对柔性GaAs基太阳电池的制备方法进行研究,报道了一种用于制备柔性倒置生长的AlGaInP/AlGaAs/GaAs三结太阳电池的剥离和转移方法——金属背支撑选择性湿法刻蚀技术.在GaAs/GaInP选择性腐蚀的基础上进行了GaAs衬底层的腐蚀,研究了不同类型和体积比的溶液对GaAs/GaInP/AlInP结构腐蚀的选择特性,最终选用不同配比的H2 SO4-H2 O2系腐蚀液,获得快速、可控制、重复性好的去除衬底的两步腐蚀法.原子力显微镜测试结果表明,通过此方法能够成功地将电池外延层薄膜转移到Cu衬底上,并且在剥离和转移过程中外延层薄膜没有受到损伤.柔性AlGaInP/AlGaAs/GaAs三结太阳电池的开路电压超过3.4V.