全自动薄膜应力仪

• 作者: 张小波 梁凯 程毓 赵升升
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜应力测试仪 应力测试 剥层曲率半径法 残余应力
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 98-102
• 分类号: TH871|TB331
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.01.17

摘要

基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪.在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动计算等功能.标准光学玻璃圆台表面曲率半径的实测结果表明,应力仪测试精度达到千分位.此外,TiN薄膜应力沿层深分布的测试结果进一步验证了设备的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵升升	深圳职业技术学院深圳现代设计与制造技术重点实验室	15	22	3.0	4.0
2	程毓	深圳职业技术学院深圳现代设计与制造技术重点实验室	4	20	2.0	4.0
3	张小波		2	6	2.0	2.0
4	梁凯		1	4	1.0	1.0