Bi-Mode逆导门极换流晶闸管工艺方案与版图设计

• 作者: 李建清 谭巍
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 数学
• 关键词: 电力电子器件 门极换流晶闸管 工艺方案 版图布局 TCAD
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 264-269
• 页数: 6页
• 分类号: O29
• 字数: 2025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.03.006

摘要

Bi-mode逆导门极换流晶闸管（BGCT）是为了改善传统逆导门极换流晶闸管（RC-GCT）电流均匀性和提高硅片有效面积利用率而提出的一种新结构，其主要特点是在版图布局中将二极管阳极与GCT阴极指条穿插一起。通过对BGCT器件结构的分析，给出了一种工艺制作方案，并利用Sentaurus TCAD软件验证了工艺方案的可行性，分析研究结果表明，工艺设计方案可行，器件结构参数符合目标要求；最后在确定的工艺流程方案基础上，通过对门阴极指条的设计给出了其版图布局方案，且用L-edit软件绘制出了其光刻流程。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建清	电子科技大学物理电子学院	37	175	8.0	10.0
2	谭巍	电子科技大学物理电子学院	4	18	2.0	4.0