三角形单晶硅支撑梁结构超薄X射线氮化硅窗口的制备

• 作者: 任天令 孙翊淋 徐建龙 谢丹 马硕
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: X射线窗口 氮化硅膜 硅支撑梁 体硅腐蚀 低压化学气相沉积 MEMS工艺
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 分类号: TN40
• 字数: 3004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2016.05.021

摘要

研究并实现了一种35μm宽三角形硅支撑梁X射线氮化硅膜窗口，通过对位于单晶硅片中央的氮化硅薄膜窗口进行测试，并获得了较好的性能参数：硅支撑梁部分所占面积为19.3%，氮化硅膜厚度约为50 nm，并且能够耐受一个大气压强差。本论文提出的结构与以往的MEMS工艺制备的X射线窗口相比较，更加简单、可靠，并且制备成本更低，可适用于X射线荧光分析仪和SEM的能量色散谱分析仪等设备的X射线引出窗口。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任天令	清华大学微电子所	87	600	13.0	19.0
2	谢丹	清华大学微电子所	12	45	4.0	6.0
3	马硕	清华大学微电子所	1	0	0.0	0.0
4	徐建龙	清华大学微电子所	2	5	1.0	2.0
5	孙翊淋	清华大学微电子所	1	0	0.0	0.0