计算全息图在自由曲面检测中的系统设计

• 作者: 周文彩 许峰 韦晓孝
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 计算全息图 集成式波前编码器件 非球面检测 激光直写
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 69-73
• 分类号: O438.1
• 语种: 中文

摘要

为了精确地检测非旋转对称的非球面面形质量,将衍射补偿元件计算全息图(CGH)应用到非球面透射式检测光学系统中.利用计算全息图(CGH)可以生成任意形状的波前这一特点,对由三次面形和双曲面叠加而成的集成式波前编码器件进行检测,详细地给出了从检测系统的设计、计算全息图数学模型的建立,到CGH的制作和制作误差分析的过程.以口径33.84 mm的波前编码器件为例,检测系统的模拟残余波像差的峰谷值是0.037 3λ,均方根为0.006 3λ.利用激光直写技术,加工制作了口径为56 mm的计算全息板,计算全息图的制作误差为0.086λ,验证了计算全息图在检测自由曲面中的可行性.