系统级测试下静电防护器件的失效机理分析

• 作者: 刘进 陈永光
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 系统级测试 ESD防护器件 性能退化 瞬变电压抑制器 二次击穿
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 698-702,724
• 分类号: O441.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2016.05.021

摘要

为满足系统级电磁兼容测试标准IEC61000-4-2,许多航空电子设备中都有静电放电(ESD)防护器件,其功能的失效直接影响到被保护电路和整机的安全性.在分析该类器件的失效机理时考虑到典型性,选择双极性ESD防护器件0603ESDA-TR作为受试对象,研究了系统级ESD注入对器件性能的影响,并对器件内部温度分布进行了仿真分析.研究表明ESD脉冲注入时雪崩电流在整个pn结面分布不均匀,仅集中在边缘几个点上,局部过热点的温度甚至达到硅熔融温度,将破坏原有的晶格结构,导致器件二次击穿而发生硬损伤.当ESD电压达到25 kV后,器件的性能参数开始退化,但反向漏电流几乎不变;连续100次脉冲后器件完全失效.分析后得出的结论是:ESD防护器件遭受系统级静电放电冲击时具有累积效应,其失效是由性能退化引起的,并且传统的漏电流检测无法探测到ESD引起的损伤.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈永光		22	114	6.0	9.0
2	刘进		2	2	1.0	1.0