SWNT随机网络TFT输出特性的仿真及实验验证

• 作者: 忻佩胜 王佐奉 王莎 石艳玲 胡少坚 郭奥
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管(TFT) 蒙特卡罗方法 输出特性 随机网络 单壁碳纳米管(SWNT)
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 146-150,182
• 分类号: TN321.5|TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.03.002

摘要

为了准确表征单壁碳纳米管(SWNT)随机网络薄膜晶体管(TFT)的输出特性,采用蒙特卡罗方法实现对沟道区域SWNT随机分布情况的仿真,并且通过在弹道输运模型中引入与栅压相关的拟合参数α(Vg)拟合碳管间、碳管与金属电极间接触的影响,最终获得SWNT随机网络TFT输出特性的仿真结果.实验中,以溶液浸泡法制备SWNT薄膜作为TFT沟道材料,以与传统工艺兼容的淀积、刻蚀等步骤制备了TFT,并进行了器件输出特性的测试.实验验证表明,沟道宽度为50 μm、长度为10 μm TFT的输出特性测试数据与仿真拟合的误差仅为5.6％.此仿真方法能较准确地描写SWNT随机网络TFT的输出特性,通过对蒙特卡罗仿真参数的调整,能预测薄膜晶体管跨导随几何尺寸的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石艳玲	华东师范大学信息科学技术学院	47	205	8.0	12.0
2	忻佩胜	华东师范大学信息科学技术学院	16	115	7.0	10.0
3	胡少坚		12	22	3.0	4.0
4	王佐奉	华东师范大学信息科学技术学院	1	0	0.0	0.0
5	王莎	华东师范大学信息科学技术学院	1	0	0.0	0.0
6	郭奥		1	0	0.0	0.0