单轴微加速度器机电耦合分析

• 作者: 张宾 李波
• 来源期刊: 内蒙古煤炭经济
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 梳齿 电容 加速度器
• 年，卷（期）: 2016,（13）
• 所属期刊栏目: 技术与经济
• 页码范围: 118-119
• 页数: 2页
• 分类号: TP212|F406.3
• 字数: 1245字
• 语种: 中文

摘要

在考虑静电力作用下,利用系统动态模型对单轴电容式加速度计机进行电耦合分析,低g值加速度的作用下感应质量块系统基底产生的微位移(nm级)和系统测量灵敏度,并采用差分电容电路输出便于提取fF(10“15F)级电容变化信号.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李波		6	2	1.0	1.0
2	张宾		5	12	2.0	3.0