低压磷扩散工艺研究

• 作者: 严金梅 孙朋涛 李吉 赵朋松 郑建宇 魏红军 麻增智
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: 低压扩散 源流量 源瓶压力 泵压力 扩散时间
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 字数: 2999字
• 语种: 中文

摘要

分析了低压磷扩散较常压扩散的优势,论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数.通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块电阻的影响,了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法,便于更高效开展低压磷扩散工艺的调试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑建宇		4	4	2.0	2.0
2	赵朋松		5	8	2.0	2.0
3	严金梅		10	8	2.0	2.0
4	李吉		9	11	2.0	2.0
5	魏红军		5	3	1.0	1.0
6	孙朋涛		1	2	1.0	1.0
7	麻增智		2	2	1.0	1.0