集成电路企业工序能力初探

• 作者: 周晋阳 弓伟
• 来源期刊: 山西电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 工艺能力指数 正态分布 标准差
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 2527字
• 语种: 中文

摘要

主要讨论了集成电路企业工艺能力指数的定量表征和计算方法,并结合数据分析软件MiniData对具体产品的工艺能力进行了分析说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周晋阳	长治医学院生物医学工程系	59	123	5.0	9.0
2	弓伟	长治医学院生物医学工程系	7	1	1.0	1.0