非氧化物陶瓷与金属接合的热处理设备

• 作者: 王金竹 贡昊 顾臻
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非氧化物陶瓷 接合 真空热压电炉 炉温均匀性
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 电子材料和封接、封装专辑
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TB756
• 字数: 4327字
• 语种: 中文

摘要

非氧化物陶瓷的优良特性确立了在高新技术领域的广泛应用地位.非氧化物陶瓷在高新技术领域的应用,往往需要与金属接合.本文简述了不同接合工艺对热处理设备的技术要求,并详细介绍了用于非氧化物陶瓷-非氧化物陶瓷、非氧化物陶瓷-金属接合工艺的真空热压烧结炉、真空烧结炉、还原退火炉的主要特点和各项技术参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贡昊		1	0	0.0	0.0
2	顾臻		1	0	0.0	0.0
3	王金竹		1	0	0.0	0.0