凸二次曲面的工艺球面补偿检测

• 作者: 胡明勇 范二荣 赵奇 陈泽
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 瑞利判据 凸二次曲面 像差理论
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: ?先进光学制造技术?
• 页码范围: 56-61
• 页数: 6页
• 分类号: O435.2|TN247
• 字数: 3622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.09.010

摘要

在非球面的检测中，工艺球面补偿检测是最普遍的方法。针对该方法适用范围的局限性，本文提出了应用工艺球面补偿检测时非球面所必须满足的条件。根据波像差理论和瑞利判据，推导出凸二次曲面能够应用工艺球面补偿检测所必须满足的条件，并采用有限距离正面补偿检测的方法，对工艺球面补偿检测的局限性提出了改进。最终结果表明本文所提出的理论能够判定，所需要研制的凸双曲面镜不能直接应用工艺球面补偿检测，而组合补偿检测方法能够保证凸双曲面的面形精度δPV=0.1598λ优于λ/6(λ=632.8 nm)，满足技术指标。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明勇	合肥工业大学光电技术研究院	15	19	2.0	4.0
2	赵奇	合肥工业大学光电技术研究院	4	2	1.0	1.0
3	范二荣	合肥工业大学光电技术研究院	4	2	1.0	1.0
4	陈泽	中国科学院南京天文仪器研制中心	3	5	1.0	2.0