紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制

• 作者: 刘世元 刘佳敏 张传维 陶泽
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 光谱薄膜测厚仪 紧凑 逆问题 干涉 不确定度
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 472-475
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.04.003

摘要

为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度.采用该仪器测量部分SiO2/Si薄膜样件,测量结果与商业椭偏仪测量结果之间的相对偏差小于0.5%,而单次测量时间仅为70ms.结果表明,该薄膜测厚仪具有对测量距离不敏感、光路简洁、结构紧凑及重复性精度良好等优点,对实现在线实时测量功能具有积极意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘世元	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	35	363	11.0	17.0
2	张传维	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	6	25	3.0	5.0
3	陶泽	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	2	1	1.0	1.0
4	刘佳敏	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	2	1	1.0	1.0