大功率速调管用TiO2衰减瓷及其金属化工艺研究

• 作者: 刘洋 刘海楠 孙自强 杨磊 林雄文 梁田 邓家成 邹建军
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2衰减瓷 热压烧结 Mo-Mn法 Q值
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 电子材料和封接、封装专辑
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TB756
• 字数: 1635字
• 语种: 中文

摘要

本文采用热压烧结的工艺方法制备出TiO2衰减瓷,并用Mo-Mn法+电镀Ni的工艺流程对其实现金属化,实现与无氧铜的牢固焊接,并使谐振腔的Q值满足设计要求,已成功应用于某大功率速调管.