激光大尺度3维动态聚焦扫描加工系统研究

• 作者: 曾晓雁 李东华 段军 游欣易 邓磊敏
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 3维动态聚焦 光学设计 3维微加工
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 466-471
• 页数: 6页
• 分类号: TG665|TN249
• 字数: 3624字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.04.002

摘要

为了满足激光3维微加工不断提高的精度要求、不断增大的加工尺寸范围,以及加工效率的上升需求,采用理论分析和计算结合的方法,研制出由动态聚焦镜和2维扫描振镜组合的动态聚焦系统,与高精度X-Y-Z3维高精度工作台集成为一台激光大尺度3维动态聚焦扫描加工设备.设计了焦距为100mm、视场角±15°、光阑口径7mm、后工作距137mm、相对畸变小于0.5%的远心f-θ镜和入光口径8mm、光学杠杆比1:8、后工作距800mm±40mm的动态聚焦镜系统,并使用ZEMAX软件对系统关键光学部件动态聚焦镜和远心f-θ镜进行光学设计及系统性能评价.结果表明,通过工艺控制软件分层拼接,实现了460mm×310mm×50mm大尺度3维动态聚焦的高精度紫外激光微加工功能,在该3维扫描范围内,激光聚焦光斑直径始终保持小于10μm,从而满足大尺度激光3维精密微加工需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁	华中科技大学武汉光电国家实验室	144	2006	25.0	36.0
2	段军	华中科技大学武汉光电国家实验室	20	176	8.0	13.0
3	李东华	华中科技大学武汉光电国家实验室	9	84	5.0	9.0
4	邓磊敏	华中科技大学武汉光电国家实验室	3	28	3.0	3.0
5	游欣易	华中科技大学武汉光电国家实验室	1	8	1.0	1.0