新型微机电系统的光纤传感器设计及应用

• 作者: 刘艳峰 吴勇翀
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 数学
• 关键词: 微电子机械系统 传感器 MIM波导 微纳光纤
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 光器件
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: O23
• 字数: 2229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2016.06.014

摘要

设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测.理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm,加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系;微纳光纤传感器的灵敏度较高,能够实现较好的加速度传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘艳峰	延安大学物理与电子信息学院	63	177	6.0	12.0
2	吴勇翀		16	9	2.0	2.0