基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法

• 作者: 孙世岭
• 来源期刊: 工矿自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 甲烷检测 载体催化检测 微机电系统 MEMS
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TD712.55
• 语种: 中文
• DOI: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.04.011

摘要

在分析载体催化甲烷检测原理的基础上,提出采用先进的微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)技术对传统载体催化甲烷检测元件的制作方法进行改进,给出了具体的元件制作流程,并对元件的性能进行了测试.测试结果表明,基于MEMS技术的裁体催化甲烷检测元件较传统载体催化甲烷检测元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明显改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙世岭		8	9	2.0	2.0