铝纳米线阵列的制备及生长机理

• 作者: 刘楚辉 彭文利 顾金梅 鹿业波
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 原子迁移 铝纳米线 阵列 原子积聚
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 370-372,377
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2016.03.016

摘要

分别利用高密度电流和高温加热作为驱动力,在不同试样中产生原子迁移现象,并进行对比试验研究制备铝纳米线阵列的可行性.试验结果表明,在局部区域利用高密度电流成功制备了铝纳米线阵列.由于试样制备过程中蚀刻工艺带来的误差,导致电流密度相应变化,使试样在部分区域出现了爆破现象.高温加热的试样表面产生了大量铝纳米颗粒,但是由于原子迁移强度过低,未能在对应试样中制备出铝纳米线阵列.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭文利	嘉兴学院机电工程学院	29	54	4.0	6.0
2	顾金梅	嘉兴学院机电工程学院	18	54	6.0	7.0
3	刘楚辉	嘉兴学院机电工程学院	14	131	5.0	11.0
4	鹿业波	嘉兴学院机电工程学院	17	20	2.0	4.0