基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解

• 作者: 东立剑 张德福 彭海峰 梁超 赵磊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 柔顺并联机构 光学元件微动调整 位姿正解 伪刚体模型 矢量代数法 雅克比矩阵
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1373-1381
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.7|TH703
• 字数: 3235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162406.1373

摘要

针对光刻投影物镜中光学元件X/Y/θ微动调整的工程需求,研制了一种基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构,并对其位姿正解进行了研究.建立了3-RRR柔顺并联机构的伪刚体模型,并采用矢量代数法理论推导了该机构的位姿正解,得到了它的理论雅克比矩阵.然后,在NASTRAN中建立了3-RRR柔顺并联机构的有限元模型,得到了仿真环境下该机构的位姿正解和雅克比矩阵.最后,对研制的3-RRR柔顺并联机构进行了实验研究,得到了该机构真实的位姿正解和雅克比矩阵.实验结果表明,实验雅克比矩阵的各项系数分别为0.577 7、-0.304 0、-0.283 3、0.002 1、0.524 6、-0.516 5、1.402 6、1.481 9、1.435 3,而理论雅克比矩阵相对应的各项系数分别为0.612 9、-0.3065、-0.306 5、0、0.530 8、-0.530 8、1.444 6、1.444 6、1.444 6,得到的数据表明:采用矢量代数法能够理论推导出该机构正确的位姿正解公式.提出的3-RRR柔顺微动调整机构位姿正解方法为微动调整机构的研制提供了设计依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵磊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	37	438	12.0	20.0
2	东立剑	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	8	20	3.0	4.0
3	彭海峰		5	31	4.0	5.0
6	张德福	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	13	67	4.0	8.0
7	梁超	长春理工大学经济管理学院	3	14	2.0	3.0