干摩擦条件下基体粗糙度对Cr-DLC薄膜摩擦磨损性能的影响

• 作者: 方宪法 李振东 汪瑞军 王亦奇 詹华
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射/等离子辅助气相沉积 不同基体粗糙度 干摩擦 Cr掺杂类金刚石薄膜 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 741-748
• 分类号: TH117.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.16078/j.tribology.2016.06.011

摘要

采用磁控溅射/等离子辅助气相沉积方法在不同粗糙度样品表面制备Cr掺杂类金刚石(Cr-DLC)薄膜,研究了干摩擦条件下,基体粗糙度对Cr掺杂类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响.结果表明:在低表面粗糙度样品上体现了Cr掺杂类金刚石薄膜良好的自润滑特性,平均摩擦系数在0.1以下,达到了油润滑条件的摩擦水平,磨损较小,磨损表面薄膜结构完整,未出现明显石墨化转变.在高表面粗糙度样品上,样品的平均摩擦系数提高了3～4倍,磨损剧烈,基体表面磨出了明显的沟槽,与其对摩的Si3N4球磨损严重.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方宪法		59	689	14.0	24.0
2	汪瑞军		28	98	6.0	7.0
6	詹华		12	43	4.0	6.0
7	李振东		13	118	6.0	10.0
8	王亦奇		4	18	2.0	4.0