原位法制备AlN-TiN复相陶瓷性能的研究

• 作者: 丘泰 冯永宝 李晓云 杨建 杨群 王玉春
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝 二氧化钛 无压烧结 致密性 导热性能
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 电子材料和封接、封装专辑
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174.5
• 字数: 2702字
• 语种: 中文

摘要

以Y2O3(5％)(质量比)和TiO2为添加剂,采用无压烧结工艺在1900℃、N2气氛下原位法制备了AlN-TiN复相陶瓷,研究了不同TiO2含量对复相陶瓷物相组成、致密性和导热性能的影响.结果表明:1900℃烧成温度下,复相陶瓷主晶相为AlN和TiN,次晶相为Al2O3和YAlO3,TiO2与AlN反应原位生成了TiN.适量的Y2O3-TiO2添加剂能够对AlN-TiN复相陶瓷起到促进烧结的作用.随着TiO2含量的增加,材料的气孔率呈先减小再增大的趋势,材料的热导率呈下降趋势.当TiO2添加量为6％时,材料的显气孔率最低,为0.21％,相应热导率为104 W/m·K.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯永宝	南京工业大学材料科学与工程学院	39	379	10.0	17.0
2	杨群	南京工业大学材料科学与工程学院	4	1	1.0	1.0
3	王玉春		1	0	0.0	0.0
4	李晓云		1	0	0.0	0.0
5	杨建		1	0	0.0	0.0
6	丘泰		1	0	0.0	0.0