基于FPGA的BiSS-C协议编码器接口技术研究及解码实现

• 作者: 孙贤 成荣 朱煜 王希远
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: BiSS-C FPGA 容栅尺 编码器
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 驱动与控制
• 页码范围: 386-391
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 3229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20163104.0386

摘要

为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求,本文提出了基于FPGA的BiSS-C协议解码方法,并针对该方法进行了电路设计以及实验验证.首先,研究了BiSS-C协议内容,就其组网方式和帧格式做了详细的介绍.然后,针对绝对式编码器解码要求,利用FPGA拓展性好、灵活性高等特点,通过状态机,设计了绝对式编码器的数据传输电路,实现了BiSS-C协议的译码功能,并采用CLE-AA容栅尺进行了应用验证.最后,进行了与增量式光栅尺的对比校准实验.实验表明,容栅尺绝对式编码器可实现10 kHz的传输速率,运动误差在±5 μm之内,其可靠性与准确性满足超精密运动控制系统的粗定位要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱煜	清华大学机械工程系	99	1312	17.0	33.0
2	成荣	清华大学机械工程系	7	18	3.0	4.0
3	王希远	清华大学机械工程系	2	5	1.0	2.0
4	孙贤	清华大学机械工程系	2	5	1.0	2.0