基于SOI的SOH电光调制器设计

• 作者: 安俊明 张家顺 王亮亮 王玥 齐影
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: SOH 马赫-曾德干涉仪 电光调制器 slot波导 共平面波导行波电极
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 7-12
• 分类号: TN252
• 语种: 中文

摘要

设计了一种基于绝缘层上硅(SOI)的推挽式硅-有机物混合(SOH)马赫-曾德干涉型(MZI)电光调制器.利用薄膜模式匹配法对槽波导(slot)的光场分布进行了仿真分析,优化后得到了限制因子为0.32的slot波导结构.采用推挽式马赫-曾德干涉仪结构,并在相移臂嵌入LX M1非线性有机材料,得到半波电压-长度积Vπ·L为0.885 V·mm、电学响应带宽fRc可达123.2GHz、开关速度为8.11 ps的SOH调制器结构.利用基于本征有限元法求解麦克斯韦方程,对共平面波导电极系统进行了计算仿真,获得了特性阻抗接近50 Ω、高频速率匹配的电极结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玥	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	79	544	8.0	22.0
2	安俊明	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	45	77	5.0	6.0
4	齐影	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	3	0	0.0	0.0
5	张家顺	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	7	9	2.0	3.0