基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究

• 作者: 严英占 卢会湘 唐小平 张义川 方孺牛 缪旻 金玉丰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 低温共烧陶瓷 加速度计 微机械加工 三维集成 微系统
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 467-473
• 页数: 7页
• 分类号: TH824|TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.04.001

摘要

低温共烧陶瓷（LTCC）技术是实现电子设备小型化、高密度集成化的主流封装/组装集成技术，可适用于耐高温、耐受恶劣环境下的特性要求。报道了以LTCC为结构材料设计、制作的一种MEMS差分电容式加速度计。该器件的敏感质量、4根悬臂梁结构都内嵌于LTCC多层基板，质量块和上下盖板之间通过印刷电极组成差分电容对；高精度电容检测芯片表贴于LTCC基板表面，将差分电容信号转化为电压信号。论文讨论了微机械LTCC加速度计的设计与制备、检测电路和性能测试。LTCC的高密度多层布线减小了互连线的长度和相关耦合寄生电容；基于集成芯片的检测电路解决了分立式检测电路的引起噪声大、电路复杂等问题。测试结果表明：该加速度计结构灵敏度较高，小载荷情况下表现出良好的线性关系，灵敏度约为30.3 mV/gn。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严英占	中国电子科技集团公司第五十四研究所	15	35	4.0	5.0
2	唐小平	中国电子科技集团公司第五十四研究所	3	7	2.0	2.0
3	卢会湘	中国电子科技集团公司第五十四研究所	4	10	2.0	3.0
4	张义川	北京信息科技大学信息微系统研究所	1	2	1.0	1.0
5	金玉丰		1	2	1.0	1.0