AlN陶瓷Mo-Mn法金属化研究

• 作者: 冯永宝 曹昌伟 李军
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: AlN陶瓷 金属化 结合机理 Mo-Mn法
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 电子材料和封接、封装专辑
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TB756
• 字数: 2550字
• 语种: 中文

摘要

氮化铝(AlN)陶瓷具有优良的综合性能,在微电子和微波真空管等电子工业领域中有广泛的应用.以Mo、Mn、MnO、Al2O3、SiO2和CaO等(粒径＜10μm)为原料,在氧化之后的AlN陶瓷表面烧结制得金属化层.通过X射线衍射、扫描电镜及能量色散谱对金属层做物相、显微形貌及能谱成分分析,初步探讨该金属化法的结合机理.结果表明:AlN陶瓷在空气气氛中经过1100℃保温3h高温处理之后,表面生成一层氧化铝(Al2O3),金属化层与陶瓷之间的结合强度超过55 MPa.结合机理是:玻璃相的相互迁移渗透在陶瓷与金属层之间形成机械结合,新共熔物(CaO)12 (Al2 O3)7的生成也有助于提高结合强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军	中国科学院上海硅酸盐研究所	329	5514	37.0	61.0
2	冯永宝	南京工业大学材料科学与工程学院	39	379	10.0	17.0
3	曹昌伟	南京工业大学材料科学与工程学院	2	12	2.0	2.0