光催化辅助化学机械抛光CVD金刚石抛光液的研制

• 作者: 何艳 张悦 杜海洋 苑泽伟
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 二氧化钛 光催化 化学机械抛光 抛光液
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 15-20,31
• 分类号: TQ164
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0003

摘要

CVD金刚石因其优越的物理化学特性被应用到许多高科技领域中,但目前的抛光方法存在着效率低、精度差等诸多问题,无法满足高科技领域对金刚石高效超光滑的表面精度要求.我们提出利用二氧化钛光催化辅助化学机械抛光方法实现CVD金刚石的高质量加工,并研制出用于金刚石抛光的二氧化钛光催化氧化原理结合辅助化学机械抛光液.首先,我们根据光催化原理搭建相应的化学机械抛光装置;然后,采用甲基橙溶液氧化变色及溶液氧化还原电位(ORP)表征抛光液的氧化性;最后,对CVD金刚石进行了光催化辅助化学机械抛光.结果表明:P25型二氧化钛光催化活性最高,每100 mL纯水中加入1 mL的H2O2与0.2 mL的H3PO4对催化剂活性影响最大,氧化还原能力较高,采用其加工CVD金刚石可使抛光表面变得极为光滑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张悦	沈阳工业大学机械工程学院	33	69	5.0	7.0
2	何艳	沈阳工业大学机械工程学院	7	11	2.0	3.0
3	苑泽伟	沈阳工业大学机械工程学院	11	28	4.0	5.0
4	杜海洋	沈阳工业大学机械工程学院	2	14	2.0	2.0