保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

• 作者: 孙艳辉 林涛 段春艳 章大钧
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 保温时间 定向凝固 多晶硅 提纯
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 643-646,672
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.04.027

摘要

本文采用# 3303工业硅作为定向凝固的原料提纯多晶硅锭.实验过程中保持拉锭速度和冷却水流量为常数,并分别以不同的保温时间作为试验参数进行实验.采用金相显微镜(Metalloscope)和扫描电子显微镜(SEM)对硅锭微观形貌进行表征,结果显示,硅锭的底部杂质含量最少.定向凝固过程中杂质从硅锭的底部朝着硅锭的顶部方向聚集.用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)对硅锭杂质含量进行分析,结果显示,效果最好的实验保温时间是30分钟,并由此可以推断保温时间越长,硅锭中的杂质含量越少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙艳辉	华南师范大学化学与环境学院	12	190	5.0	12.0
2	林涛	佛山职业技术学院电子信息系	13	8	2.0	2.0
3	段春艳	佛山职业技术学院电子信息系	28	18	2.0	2.0
4	章大钧	华南师范大学化学与环境学院	1	2	1.0	1.0