金掺杂HgCdTe气相外延生长及二次离子质谱研究

• 作者: 张可锋 张莉萍 李向阳 杜云辰 焦翠灵 王仍 陆液
• 来源期刊: 红外
• 学科: 物理学
• 关键词: Hg1-xCdxTe晶体 二次离子质谱 气相外延 Au掺杂 杂质
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1-6,16
• 页数: 7页
• 分类号: O472+.3
• 字数: 3145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2016.10.001

摘要

通过气相外延技术生长了Au掺杂的Hg1-xCdxTe薄膜材料.利用傅里叶光谱仪和金相显微镜对外延材料进行了表征.通过二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy,SIMS)技术分析了Au在Hg1-xCdxTe外延层以及CdZnTe衬底中的纵向分布趋势.利用SIMS技术还分析了Ⅰ、Ⅱ族和Ⅵ、Ⅶ族杂质在Hg1-xCdxTe外延层以及CdZnTe衬底中的纵向分布趋势,发现衬底和外延层的过渡区具有吸杂作用.研究结果对提高探测器的性能具有指导意义.