等离子体鞘层中朗缪尔探针吸收离子电流理论的数值模拟

• 作者: 李文秋 王刚 相东 苏小保
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 修正玻姆电流 等离子体鞘层 等离子体离子电流 圆柱型探针
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 1271-1278
• 分类号: O536
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.11.10

摘要

为了研究朗缪尔静电圆柱型探针半径对等离子体密度测量的影响以及鞘层空间电势分布等特性,在非热平衡条件下采用等离子体鞘层中探针吸收离子模型,对朗缪尔静电探针周围等离子体鞘层空间中的修正玻姆电流、OML理论鞘层空间电势分布、ABR理论鞘层空间电势分布、BRL理论鞘层空间电势分布以及三种理论对应的探针吸收离子电流进行了系统的数值模拟研究.计算结果显示,电子温度和等离子体密度对ABR理论鞘层空间电势分布存在显著影响,离子温度小于0.1倍电子温度时离子的温度效应对BRL理论鞘层空间电势分布的影响可以忽略;探针半径为1～3倍德拜长度时,OML理论、ABR理论及BRL理论预测的归一化离子电流近似相等,即三种理论给出近似相等的等离子体密度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏小保	中国科学院电子学研究所	40	156	8.0	10.0
2	王刚	中国科学院电子学研究所	164	1405	19.0	32.0
3	李文秋	中国科学院电子学研究所	6	4	1.0	1.0
7	相东	中国科学院电子学研究所	5	8	2.0	2.0