780nm波段低填充因子半导体激光器列阵的光束质量研究

• 作者: 宁永强 张俊 张建 张星 李秀山 秦莉 贾鹏 陈泳屹
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器列阵 低填充因子 侧向光学参量积
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 27-29,44
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文

摘要

为了获得高功率高光束质量激光输出,设计并制备了一种780 nm波段5发光单元列阵器件,其采用10μm宽窄条形波导,各发光单元中心间距为100 μm,填充因子仅为10％.在准连续注入电流由1.2A增加到2.5A条件下,该器件的输出光束侧向光学参量积由0.666 mm·mrad增加至0.782 mm·mrad.注入电流为2.5A时,该器件实现了单边准连续506 mW的高光束质量激光输出.