基于COMSOL的复合膜结构中SAW传播特性分析

• 作者: 任彦宇 张祖伟 曾飞 杨靖 陈彦光 马晋毅
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 复合膜结构 COMSOL 仿真 色散特性
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 356-359
• 页数: 4页
• 分类号: TN65
• 字数: 2604字
• 语种: 中文

摘要

该文以金刚石/氮化铝/二氧化硅复合膜结构中声表面波的传播特性为研究对象,利用COMSOL软件建立复合膜有限元模型并进行模拟仿真,根据仿真结果计算得出复合膜结构中声表面波的相速度色散曲线和积淀耦合系数曲线,分析了氮化铝、二氧化硅和铝电极膜厚对声表面波传播特性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾飞		2	5	1.0	2.0
2	马晋毅	中国电子科技集团公司第二十六研究所	25	52	3.0	5.0
3	杨靖	中国电子科技集团公司第二十六研究所	15	48	5.0	6.0
4	陈彦光	中国电子科技集团公司第二十六研究所	10	17	3.0	3.0
5	张祖伟	中国电子科技集团公司第二十六研究所	2	2	1.0	1.0
6	任彦宇		1	1	1.0	1.0