空间磁偏转质谱计校准装置设计及校准方法研究

• 作者: 吉康 孙健 孙雯君 张瑞芳 成永军 李得天 董猛 赵澜 郭美如
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁偏转质谱计 空间探测 校准装置 校准方法
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 28-33
• 页数: 6页
• 分类号: TB771
• 字数: 6763字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.06.08

摘要

为确保磁偏转质谱计空间探测应用测量数据的准确性，设计了一套校准装置对磁偏转质谱计进行地面校准。本文介绍了装置的结构设计，并根据校准装置和磁偏转质谱计自身的特点，提出了二种校准方法，分别为：分压力测量法和标样气体法。研究表明，校准装置的极限真空度可达到5×10-8 Pa，二种校准方法对应不同的校准范围，可将质谱计的校准下限延伸至10-8 Pa，比国内目前已报道的质谱计的校准下限低1~2个量级。