基于称重原理的滴管式气体流量测量装置与方法

• 作者: 孙坤 张世伟 张志军 张明达 李玉英 韩进
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 气体流量测量 滴管 称重原理
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TH715.1|TH814
• 字数: 4823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.06.06

摘要

针对真空泵抽速测量中广泛应用的普通滴管式气体流量测量装置与方法进行改进研究，提出一种基于称重原理的滴管式气体流量测量新方法。在贮液槽下安置电子称，以称量进入滴管中的油液的质量来代替测量液位上升的高度；推导出对应的气体流量计算公式，介绍了具体操作步骤；对照原测量方法的不足之处，分析了称重法滴管式气体流量测量装置与方法的特点。这一改进可为实现真空泵抽速及微小气体流量的自动化测量提供理论支撑和参考方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张世伟	东北大学机械工程与自动化学院	68	567	14.0	19.0
2	张志军	东北大学机械工程与自动化学院	50	333	11.0	17.0
3	韩进	东北大学机械工程与自动化学院	37	161	8.0	11.0
4	孙坤	东北大学机械工程与自动化学院	7	2	1.0	1.0
5	张明达		3	5	2.0	2.0
6	李玉英		1	2	1.0	1.0