柔性衬底上制备氟、镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其光电性质研究

• 作者: 吴晓京 晏中 杜小琴 潘阳 赵越
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 Ga、F共掺杂ZnO PET柔性衬底 正交实验设计
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 1334-1341
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.11.20

摘要

采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ga、F共掺杂的ZnO透明导电薄膜.采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、原子力显微镜和霍尔测试仪等手段对薄膜性能进行了表征.制备过程中通过控制沉积时间、Ga掺杂量、衬底温度和氧气流量等实验条件,比对研究了各参数对薄膜性能的影响.为了分析各参数对实验结果影响的重要性,采用正交实验法设计实验,并对结果进行正交分析、极差方差分析.得出了各个实验条件对结果影响的大小顺序和最优的制备条件.结果表明,掺杂量和沉积时间对于薄膜的光电性能影响较大,Ga掺杂量取1.0％(原子比),且沉积时间较短的薄膜透光率较好;Ga掺杂量取1.0％,且沉积时间较长的薄膜导电性能较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴晓京	复旦大学材料科学系	22	241	5.0	15.0
2	赵越	复旦大学材料科学系	9	8	2.0	2.0
3	杜小琴	复旦大学材料科学系	3	3	1.0	1.0
4	晏中	复旦大学材料科学系	1	0	0.0	0.0
5	潘阳	复旦大学材料科学系	1	0	0.0	0.0