一种单腔式微型隔膜泵的结构设计及流量分析

• 作者: 何云鹏 臧辰鑫 蔺增 郅静刚
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 微型隔膜泵 气体采样 抽速测试
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TB752
• 字数: 2087字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.06.04

摘要

针对市场的实际需求，设计研制了一台流量为200mL/min 的单腔式微型隔膜泵，文章介绍了流量设计计算的基本原理和泵的结构组成，利用搭建的微型泵流量测试平台进行了测试。结果表明不同电压下隔膜泵的出气速率随电压成线性关系，所设计的微型隔膜泵流量控制稳定，可靠性较高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔺增	东北大学机械工程与自动化学院	40	160	7.0	9.0
2	何云鹏	东北大学机械工程与自动化学院	2	0	0.0	0.0
3	郅静刚	东北大学机械工程与自动化学院	1	0	0.0	0.0
4	臧辰鑫	东北大学机械工程与自动化学院	1	0	0.0	0.0