接触触发式探头结构优化设计

• 作者: 向萌 李心愿 李瑞君 范光照
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 三坐标测量机 接触触发式探头 弹性机构 参数优化
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 230-234
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 1835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2016.03.02

摘要

设计了一种适用于微纳米三坐标测量机的高灵敏度接触触发式探头。介绍了该探头的结构和原理，建立了探头的灵敏度模型和刚度模型，依据三维方向等灵敏度和等刚度的原则，利用最优化方法得出了探头结构参数的最优解。对探头的刚度进行了仿真验证；分别对探头的刚度、分辨率以及稳定性进行了实验测试。实验结果表明：该探头在三维方向上的刚度均小于1 mN/μm，且近似相等；分辨率高于50 nm；当环境温度的波动范围小于±0.025℃时，探头在1.3 h 内的漂移量为20 nm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李瑞君	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	26	89	6.0	8.0
2	向萌	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	5	2.0	2.0
3	李心愿	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	5	2.0	2.0